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TOFCO THP-CDH 系列■ THP-CDH系列、是一款由高性能数字控制电路构成、可以实时处理判断控制。连接气体部位经过了EP处理，耐蚀性能优越，压力传感器以及控制电路的计数法的改善提高了响应速度、精确度、再现性等，必要的精确控制广泛应用于半导体制造行业。(Pressure insensitive 机能 )■ 供给压力变动时，也能稳定地控制流量■ 快速应对·高精度■ 压力范围广泛容许■ 数字
TOFCO THP-CDH 系列
■ THP-CDH系列、是一款由高性能数字控制电路构成、可以实时处理判断控制。连接气体部位经过了EP处理，耐蚀性能优越，压力传感器以及控制电路的计数法的改善提高了响应速度、精确度、再现性等，必要的精确控制广泛应用于半导体制造行业。(Pressure insensitive 机能 )
■ 供给压力变动时，也能稳定地控制流量
■ 快速应对·高精度
■ 压力范围广泛容许
■ 数字通讯：RS-485, Device-NET
■ 流量、压力、温度(追加预定)、Mac ID, 通讯速度等的Display机能
流量、压力、温度( 追加) 的现场显示。Mac ID, 可以简单的调整通讯速度。
THP-CDH001 | THP-CDH030 | THP-CDH050 | THP-CDH200 | |
最大流量(N2) | 5~1,500 sccm | 1,5~30 slm | 30~50 slm | 50~200 slm |
流量测定范围 | 2~100 % of FS | |||
测定精度 | ≤ ± 1.0 % of Reading Scale (10~100 % of FS) ≤ ± 0.1 % of FS (2~10 % of FS) | |||
响应时间 | ≤ 1 sec | |||
直线性 | ≤ ± 0.2 % of FS | |||
再现性 | ≤ ± 0.15 % of FS | |||
常用压力 | 0.5~3 bar | |||
最大压力 | 4.5 bar | |||
阀门关闭 | < 1 % of FS | |||
灵点稳定度 | < ±0.5 % FSper year | |||
温度系数 | 0.01 % Full scale per | |||
密封性 | 1x10 -11 pa.m 3/sec (He) | |||
控制阀类型 | Normally Closed Solenoid | |||
密封材质 | Metal | |||
数字接口 | RS-485 or Device Net | |||
信号 | 仿真信号： 4～20mA or 0～5VDC | |||
数字信号： RS-485 or Device Net | ||||
电源 | +15~24VDC (min 14.5V / Max. 32V) / 0.5A | |||
使用温度范围 | 5～50℃ (精度保证: 15～35 ℃ ) | |||
预热时间 | 15分(精度保证 : 30分) | |||
材质 | SUS316L Electro-Polished / Bright Annealing | |||
Pressure insensitive | < ± 2 % of FS up/down to 5psi/sec. Pressure Spike. | |||
显示器类型 | Top View 4digit FND | |||
